中古 ESC 靜電吸盤

Novellus ESC 02-267289-00

品牌	Novellus Systems
料號	02-267289-00（Top Level）
版本	Rev.E
類型	靜電吸盤（Electrostatic Chuck）
數量	10
狀態	中古・實機庫存
價格	歡迎詢價

Novellus Systems 原廠靜電吸盤（ESC），料號 02-267289-00 Rev.E，幾何菱形格紋表面設計確保晶圓吸附均勻性，支援背面氦氣冷卻，適用於 Novellus CVD 系列設備製程腔體，現有 10 台實機庫存可快速出貨。

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TEL ESC 06454NP-809V1

品牌	Tokyo Electron（TEL）
料號	06454NP-809V1
類型	靜電吸盤（Electrostatic Chuck）
數量	10
狀態	中古・實機庫存
價格	歡迎詢價

Tokyo Electron（TEL）原廠靜電吸盤，料號 06454NP-809V1，表面採用均勻細孔設計確保晶圓吸附穩定性，附石英外環固定結構，背面具備 RF 連接器及多點電極接頭，適用於 TEL 系列蝕刻或 CVD 製程腔體，現有 10 台實機庫存可快速出貨。

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TEL ESC 12382T-93013

品牌	Tokyo Electron（TEL）
料號	12382T-93013
類型	靜電吸盤（Electrostatic Chuck）
數量	10
狀態	中古・實機庫存
價格	歡迎詢價

Tokyo Electron（TEL）原廠靜電吸盤，料號 12382T-93013，白色氧化鋁陶瓷表面均勻細孔設計確保晶圓吸附穩定性，背面附黃色 RF 連接器及中央氣體接頭，適用於 TEL 蝕刻或薄膜沉積製程腔體，現有 10 台實機庫存可快速出貨。

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Lam Research ESC 16-375721-00

品牌	Lam Research
料號	16-375721-00 Rev.C
參考號	110058-0617-002 K
類型	靜電吸盤（Electrostatic Chuck）
數量	10
狀態	中古・實機庫存
價格	歡迎詢價

Lam Research 原廠靜電吸盤，料號 16-375721-00 Rev.C，正面採用灰色陶瓷表面搭配均勻圓點凸起（bump）設計確保晶圓吸附穩定性，背面為大型鋁合金基板並配置多組金色 RF 接針及中央氣體接頭，適用於 Lam Research 蝕刻或 CVD 製程腔體，現有 10 台實機庫存可快速出貨。

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