Main Controller
TEL ACT Track
Main Controller Type 2 Qty: 2
Main Controller Type 3 Qty: 2
Main Controller Type 4 Qty: 2
Tokyo Electron Track 系列設備專用零件
完整庫存、快速出貨、品質保證
| 品牌 | NSK |
| 型號 | ESA-LYA2AFH-20 |
| 類型 | AC 伺服驅動器 |
| 適用軸 | Y 軸 |
| 機台型號 | TEL ACT8 |
| 數量 | 8 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
NSK ESA-LYA2AFH-20 AC 伺服驅動器,專用於 TEL ACT8 塗佈顯影機 Y 軸驅動控制,提供精密位置控制與高速響應,確保晶圓搬送的高重複精度。
| 品牌 | NSK |
| 型號 | ESA-J1003A23-21 |
| 類型 | AC 伺服驅動器 |
| 適用軸 | Theta 軸 |
| 機台型號 | TEL ACT8 |
| 數量 | 8 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
NSK ESA-J1003A23-21 AC 伺服驅動器,專用於 TEL ACT8 塗佈顯影機 Theta 軸旋轉驅動控制,確保晶圓旋轉角度精準定位,為塗佈製程均勻性的重要保障。
| 品牌 | NSK |
| 型號 | ESA-Y3008A25-21 |
| 類型 | AC 伺服驅動器 |
| 控制電源 | AC90-220V |
| 主電源 | AC200-220V |
| 保險絲 | 250V 10A x2 |
| 數量 | 1 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
NSK ESA-Y3008A25-21 AC 伺服驅動器,控制電源 AC90-220V、主電源 AC200-220V,配備 RS-232C 通訊介面,Made in Japan。
| 品牌 | Mitsubishi Electric |
| 型號 | FR-U120-0.75K-F |
| 類型 | 變頻器(Inverter) |
| 功率 | 0.75kW |
| 輸入 | 3PH AC200-230V 50/60Hz |
| 輸出 | 4.1A MAX 3PH AC200-230V / 0.5-120Hz |
| 機台型號 | TEL ACT8 |
| 數量 | 6 |
| 狀態 | 中古・PASSED・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Mitsubishi FREQROL-U100 FR-U120-0.75K-F 變頻器,專用於 TEL ACT8 塗佈顯影機,0.75kW 三相輸入,每台均通過 PASSED 測試,Made in Japan。
採用增亮技術,可提升 TEL ACT8 晶圓對位感測器亮度 20~30%,有效改善對位精度與穩定性。為全新品,可直接替換安裝。
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