EX-II
機台型號
MKS 631D-32705
| 品牌 | MKS Instruments |
| 型號 | 631D-32705 |
| 類型 | 加熱式電容式真空計 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 6 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
MKS Instruments 631D 系列加熱式電容式真空計，適用於 TEL CVD Trias EX-II 製程腔體高精度壓力量測。加熱設計防止腐蝕性製程氣體冷凝，確保量測精度與長期穩定性，為 CVD 製程壓力控制的關鍵零件。
VEXTA PK566AEM
| 品牌 | VEXTA（Oriental Motor） |
| 型號 | PK566AEM |
| 類型 | 5相步進馬達 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 4 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
VEXTA（Oriental Motor）PK566AEM 5相步進馬達，精密步進控制設計，步距角誤差小，適用於 TEL CVD Trias EX-II 氣體流量閥門或精密機構驅動，動作穩定可靠。
Panasonic MSMD082S1T
| 品牌 | Panasonic |
| 型號 | MSMD082S1T |
| 類型 | AC 伺服馬達 |
| 額定功率 | 0.75 kW |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 6 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Panasonic MINAS 系列 AC 伺服馬達，額定功率 0.75kW，高效能精密驅動控制，廣泛應用於 TEL CVD Trias EX-II 機台各軸驅動系統，響應速度快，位置精度高。
HORIBA STEC SEC-8455F
| 品牌 | HORIBA STEC |
| 型號 | SEC-8455F |
| 類型 | 數位質流控制器 |
| 製程氣體 | TiCl4（四氯化鈦） |
| 流量範圍 | 300 SCCM |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 4 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
HORIBA STEC SEC-8455F 數位式質流控制器，專為 TiCl4（四氯化鈦）製程設計，量程 300SCCM，精密控制 CVD 製程氣體流量，是 TEL CVD Trias EX-II TiN 薄膜沉積製程的關鍵組件。
RKC RCB-28-6F
| 品牌 | RKC Instrument |
| 型號 | RCB-28-6F |
| 類型 | 多迴路溫度控制器 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 9 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
RKC Instrument RCB-28-6F 多迴路溫度控制器，精確控制 TEL CVD Trias EX-II 各區段加熱系統溫度，確保製程腔體與氣體管路維持穩定均一的溫度環境，為 CVD 製程薄膜品質一致性的核心保障。
TEL S-BRK-EX-II
| 品牌 | Tokyo Electron (TEL) |
| 型號 | S-BRK-EX-II |
| 料號 | 3M80-004605-11 |
| 類型 | Sub Breaker Box |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 3 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
TEL 原廠 EX-II 機型專用斷路器箱（Sub Breaker Box），料號 3M80-004605-11，為 TEL CVD Trias EX-II 電源配電系統的核心保護元件，確保各子系統電源安全與過載保護，原廠規格直接替換。
HORIBA STEC SEC-N112MGM
| 品牌 | HORIBA STEC |
| 型號 | SEC-N112MGM |
| 類型 | N100 系列質流控制器 |
| 製程氣體 | N2（氮氣） |
| 流量・數量 | 300 SCCM × 20 3 SLM × 20 5.5 SLM × 20 10 SLM × 20 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
HORIBA STEC SEC-N112MGM 為 N100 系列高精度氮氣質流控制器，提供 300SCCM、3SLM、5.5SLM、10SLM 四種流量規格，各備有 20 台現貨庫存。廣泛應用於 TEL CVD Trias EX-II 氮氣吹洗、稀釋及惰性氣體製程控制，可快速出貨。
Yaskawa XU-RVM4110
| 品牌 | Yaskawa Electric Japan |
| 型號 | XU-RVM4110 |
| 類型 | Manipulator（機械手臂） |
| 重量 | 55 kg |
| 製造日期 | 2010年3月 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 2 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Yaskawa Electric XU-RVM4110 為 TEL CVD Trias EX-II 專用晶圓傳送機械手臂，負責製程腔體間的晶圓精確搬運與定位。重量 55kg，結構堅固，動作精準穩定，為 CVD 製程自動化傳送系統的核心組件，原廠規格中古實機，可直接替換安裝。
Fujikin Heated Source Box
| 品牌 | Fujikin Inc. |
| S/N | ADG294 |
| 類型 | 加熱式化學品供應箱 |
| 接口 | PURGE / OUTLET / SOURCE |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 2 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Fujikin 加熱式化學品供應箱，具備 PURGE、OUTLET、SOURCE 三向接口，配合加熱控制維持前驅物溫度，確保 CVD 製程氣化穩定。適用於 TEL CVD Trias EX-II 製程腔體前驅物供應系統。
Gate Valve LL1 GV
| 型號 | BX80-070159-15 |
| S/N | V083230 |
| 類型 | 氣動閘閥（Load Lock Gate Valve） |
| 驅動方式 | Pneumatic（氣動） |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 6 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
氣動驅動閘閥，型號 BX80-070159-15，用於 TEL CVD Trias EX-II Load Lock 腔體隔離。具備 OPEN/CLOSE 氣動接口，提供可靠的真空隔離與快速開關動作，為 CVD 製程腔體維持真空環境的關鍵零件。
TEL PWRCONT-2Z-A1
| 品牌 | Tokyo Electron Ltd. |
| 型號 | PWRCONT-2Z-A1 |
| 料號 | 3M87-060702-41 |
| S/N | 1803594 |
| 重量 | 16 Kg |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 5 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Tokyo Electron 原廠電源控制器 PWRCONT-2Z-A1，具備 SYSTEM IF1/IF2、INTERLOCK、GHOST LOCAL/MAIN 網路接口及多通道輸出。用於 TEL CVD Trias EX-II 加熱系統電源管理與溫度控制，重 16kg，原廠規格中古實機。
MILAEBO CTL-3200
| 品牌 | MILAEBO Co., Ltd. |
| 型號 | CTL-3200 |
| 類型 | 電控箱（Control Box） |
| 接口 | REMOTE I/O / SERIAL I/O |
| 保險絲 | F1-F2 (15A) / F3-F5 (3A) / F6-F7 (2A) |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 3 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
MILAEBO CTL-3200 電控箱，配備 REMOTE I/O 及 SERIAL I/O 通訊接口，內建多路保險絲保護（F1-F2 15A、F3-F5 3A、F6-F7 2A），適用於 TEL CVD Trias EX-II 周邊設備電源控制與訊號管理，中古實機庫存，可直接替換。
TEL PCB ASSY.GUC 1
| 品牌 | Tokyo Electron Ltd. |
| 型號 | PCB ASSY.GUC 1 |
| 料號 | 3M80-003985-13 |
| S/N | 46X0002 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 5 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Tokyo Electron 原廠 PCB ASSY.GUC 1 控制板，料號 3M80-003985-13，為 TEL CVD Trias EX-II 系統控制核心板卡，整合多組控制迴路。原廠規格中古實機，可直接替換安裝。
TEL GHOST-CUBIC APC3 電控箱
| 品牌 | Tokyo Electron (TEL) |
| 類型 | 電控箱（Control Box） |
| 內含料號 | 3M80-002497-16 3M80-003804-25 |
| 主板 | GHOST-CUBIC / APC3 |
| 接口 | CN1 / CN2 / CN3 / CN4 / CN5 / CN6 / CN9 / CN14 / CN17 |
| 機台型號 | TEL CVD Trias EX-II |
| 數量 | 6 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Tokyo Electron 原廠 GHOST-CUBIC APC3 電控箱，內含 PCB 料號 3M80-002497-16 及 3M80-003804-25 兩片電路板，具備 CN1～CN17 多組 I/O 接口，為 TEL CVD Trias EX-II 製程控制系統核心元件。中古實機庫存，可直接替換安裝。
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