Tokyo Electron CVD Trias 系列設備專用零件
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| 品牌 | MKS Instruments |
| 型號 | 631D-32705 |
| 數量 | 6 |
| 品牌 | VEXTA(Oriental Motor) |
| 型號 | PK566AEM |
| 數量 | 4 |
| 品牌 | Panasonic |
| 型號 | MSMD082S1T |
| 數量 | 6 |
| 品牌 | HORIBA STEC |
| 型號 | SEC-8455F |
| 數量 | 4 |
| 品牌 | RKC Instrument |
| 型號 | RCB-28-6F |
| 數量 | 9 |
| 品牌 | Tokyo Electron (TEL) |
| 型號 | S-BRK-EX-II |
| 料號 | 3M80-004605-11 |
| 數量 | 3 |
| 品牌 | HORIBA STEC |
| 型號 | SEC-N112MGM |
| 品牌 | Yaskawa Electric Japan |
| 型號 | XU-RVM4110 |
| 數量 | 2 |
| 品牌 | Fujikin Inc. |
| 數量 | 2 |
| 型號 | BX80-070159-15 |
| 數量 | 6 |
| 品牌 | Tokyo Electron Ltd. |
| 型號 | PWRCONT-2Z-A1 |
| 料號 | 3M87-060702-41 |
| 數量 | 5 |
| 品牌 | MILAEBO Co., Ltd. |
| 型號 | CTL-3200 |
| 數量 | 3 |
| 品牌 | Tokyo Electron Ltd. |
| 型號 | PCB ASSY.GUC 1 |
| 料號 | 3M80-003985-13 |
| 數量 | 5 |
| 品牌 | Tokyo Electron (TEL) |
| 數量 | 6 |
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