CCM 遠端控制盒
ASML 中古
X4 CCM Remote Control Box
| 品牌 | ASML |
| 品名 | X4 CCM Remote Control Box |
| 料號（Mat） | 4022.470.08897 |
| BiD | 00000000001177753116 |
| 版本 | Rev. A / B / C / D / E |
| 模組 | maxon motor mmc MIP |
| 指示燈 | BRD / LB / HW / SAF / MSSL / Error / Power / Reset |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 8 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
ASML X4 CCM（Cluster Control Module）遠端控制盒，料號 4022.470.08897，為 ASML 半導體曝光機（Stepper/Scanner）核心控制模組。內建 maxon motor mmc MIP 驅動模組，具備完整狀態指示燈（BRD、LB、HW、SAF、MSSL、Error、Power、Reset），可用於 ASML 設備維修更換或備用零件。
機械手臂氣動控制單元
Parker / ASML 中古
RH-PU Mk3
| 品牌 | Parker（ASML OEM 供應商） |
| 品名 | RH-PU Mk3（Robot Hand Pneumatic Unit） |
| 12NC | 4022.631.2439_ |
| Mat | 4022.631.24391 |
| BiD | 00000000114653174 |
| 版本 | Rev. A / B / C / D / E |
| 接頭 | X100（D-Sub 25-pin） |
| 電源 | -12V / +12V / +15V / -15V / +24V |
| CDA 氣壓 | 5 to 8 barg |
| VAC 真空 | -0.55 TO -0.7 barg |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 2 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Parker RH-PU Mk3（Robot Hand Pneumatic Unit）為 ASML 曝光機晶圓搬運系統的氣動控制單元，控制機械手臂夾爪的氣壓驅動與真空吸取動作。透過 X100 D-Sub 25-pin 接頭與 ASML 控制系統連接，支援 CCM0 / CCM1 控制訊號及 TOB GRIP、IRIS 等功能，為 ASML 設備維修關鍵備用零件。
TRB 機器人控制模組
ASML 中古
TRB（Transfer Robot Board）
| 品牌 | ASML |
| 品名 | TRB（Transfer Robot Board） |
| 料號（Mat） | 4022.636.57283 |
| BiD | 00000000117626650 |
| 版本 | Rev. A / B / C / D / E |
| 模組 | maxon motor 驅動模組 |
| 指示燈 | Error / Power / Reset |
| 接頭 | X1~X20（D-Sub、圓形、電源多種接頭） |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 6 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
ASML TRB（Transfer Robot Board）為 ASML 曝光機晶圓傳送機器人控制模組，料號 4022.636.57283。內建 maxon motor 驅動模組，具備 X1～X20 共 20 組多規格接頭（D-Sub 9/25-pin、mil-spec 圓形接頭、電源接頭），負責晶圓搬運機器人的多軸運動控制與訊號介面。為 ASML 設備維修不可缺少的核心備用零件。
雷射電源供應模組
Qioptiq / ASML 中古
YS EL LPSU MOD ASSY MK4
| 品牌 | Qioptiq Photonics GmbH（ASML OEM 供應商） |
| 品名 | YS EL LPSU MOD ASSY MK4 |
| Type | 4022.671.0686.1 / 61 2439 001 |
| Mat | 4022.671.26961 |
| 序號 | 00027 |
| 額定功率 | 2240VA |
| 額定頻率 | 48-52 / 58-62 Hz |
| 輸入電壓 | 230V~ / +10% -15% |
| 輸出電壓 | 48V DC |
| PSU 模組 | 2× HFE1600-48/S |
| 防護等級 | Protection Class I |
| 認證 | CE |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 2 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Qioptiq Photonics 為 ASML 製造的 YS EL LPSU MOD ASSY MK4（雷射電源供應模組組件），Type 4022.671.0686.1，用於 ASML 曝光機的準分子雷射（Excimer Laser）電源供應系統。內含 2 組 HFE1600-48/S 電源模組，額定功率 2240VA，輸出 48V DC，德國製造，CE 認證，為 ASML 雷射系統不可缺少的關鍵電源元件。
氣動閥組件
KV Ltd / ASML 中古
氣動閥組件（Pneumatic Valve Assembly）
| 品牌 | KV Ltd Milton Keynes（ASML OEM 供應商） |
| 料號（Mat） | 4022.480.62681 |
| 序號 | 022706 |
| 電磁閥型號 | 01-311P-01-H0（F01042） |
| 電磁閥電壓 | 24V / 1W |
| 最大氣壓 | P Max 8 bar |
| 工作溫度 | -10°C ~ +60°C |
| 製造年份 | 2002 |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 2 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
KV Ltd（英國）為 ASML 製造的氣動閥組件，料號 4022.480.62681。內含多組 24V/1W 電磁閥（01-311P-01-H0）與整合式 PCB 控制電路，最大工作氣壓 8 bar，工作溫度 -10°C～+60°C。用於 ASML 曝光機晶圓搬運系統的氣壓控制，為氣動迴路的關鍵切換元件。
冷卻水主電源控制器
Thermo Electron / ASML 中古
LCWC Main Power Controller
| 品名 | LCWC（Laser Cooling Water Controller） |
| 製造商 | Thermo Electron (Karlsruhe) GmbH |
| 型號 | 009-0033 |
| 料號（Mat） | 4022.637.13581 |
| 輸入電源 | 3×400V/N/PE，50-60Hz，3×13A |
| 斷路器 | F1-F7（ABB）：HEAT / UVLMP / PUMP / AC PS / DC PS |
| 介面 | X101 RS-232，X102-X105 BNC 溫度感測器 |
| 直流輸出 | 24Vdc / 5Vdc |
| 顯示器 | LCD 面板（LCW FLOW / 手動加液控制） |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 2 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Thermo Electron（德國卡爾斯魯厄）製造的 LCWC（Laser Cooling Water Controller）主電源控制器，型號 009-0033，用於 ASML 曝光機雷射冷卻水循環系統。配備 F1～F7 共 7 組 ABB 斷路器（分控 HEAT、UVLMP、PUMP、AC/DC PS），RS-232 通訊埠，4 組 BNC 溫度感測接頭，LCD 顯示面板及 LCW FLOW 流量控制，主電源 3×400V/13A，為 ASML 雷射冷卻系統的核心控制設備。
主控工作站
Sun Microsystems / ASML 中古
Sun Ultra 25 Workstation
| 品牌 | Sun Microsystems |
| 型號 | Ultra 25（工作站） |
| Mat | 9428.999.78330 |
| BiD | 00000000000006668 |
| 版本 | Rev. B / C / D / E |
| 用途 | ASML 曝光機主控電腦（Host Computer） |
| 作業系統 | Solaris（Sun SPARC 架構） |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 1 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Sun Microsystems Ultra 25 高效能 SPARC 工作站，Mat 9428.999.78330，為 ASML 半導體曝光機（Stepper/Scanner）的標準主控電腦（Host Computer）。搭載 Solaris 作業系統，執行 ASML 設備控制軟體，為曝光機運行的核心計算平台。此機台為 ASML 設備維修、升級或備用主機的理想替換零件。
主控工作站
Sun Microsystems / ASML 中古
Sun SunBlade 2500 Workstation
| 品牌 | Sun Microsystems |
| 型號 | SunBlade 2500（工作站） |
| 處理器架構 | UltraSPARC IIIi |
| 作業系統 | Solaris（Sun SPARC 架構） |
| 用途 | ASML 曝光機主控電腦（Host Computer） |
| 狀態 | 中古・實機庫存 |
| 數量 | 1 |
| 價格 | 歡迎詢價 |
Sun Microsystems SunBlade 2500 高效能 UltraSPARC IIIi 工作站，為 ASML 半導體曝光機（Stepper/Scanner）的主控電腦（Host Computer）。搭載 Solaris 作業系統，執行 ASML 設備控制軟體，為曝光機運行的核心計算平台。此機台可作為 ASML 設備維修、升級或備用主機的理想替換零件。