装置在庫

AMAT Centura DPS2

Applied Materials

エッチング装置

• 4ポートローダー ×1
• ロボット付きメインボディ
• チャンバー3室
• パワーラック

ASM A412 Furnace

ASM International

高温炉管装置

• 完全装置（ハードディスクなし）

Kokusai QUIXACE 12インチ炉管

Kokusai Electric

縦型炉管システム

• 完全装置

TEL LITHIUS

Tokyo Electron

フォトレジスト塗布現像装置

• 99%完全装置（ADユニット ×1 不足）

TEL Furnace Indy Plus Poly

Tokyo Electron

ポリシリコン炉管装置

TEL ACT12

Tokyo Electron

フォトレジスト塗布現像装置

• ケミカルボックス ×1
• 3ポートローダー ×1
  (Type 4 メインコントローラー / スピンドライバーPCB コンプリート)
• PRB（2コーター ホットプレートなし）
• INR TCU ×1
• パワーラック ×1