Main Controller
TEL ACT Track
Main Controller Type 2 Qty: 2
Main Controller Type 3 Qty: 2
Main Controller Type 4 Qty: 2
Cooling Plate & Hot Plate
Lithius Pro Z
CPHP Qty: 12
CGHP Qty: 12
CSWP Qty: 15
Cooling Plate & Hot Plate
TEL ACT8
HHP Model-814 Qty: 10
LHP Model-813 Qty: 27
Cooling Plate Model-812 Qty: 20
CHP Model-825 Qty: 1
AD-Unit Model-811 Qty: 3
PRA Base Board
TEL ACT8
2981-600408-12 PRA BASE BOARD Qty: 1
Chemical I/O Board
TEL ACT8
CPC-T0015A-11 CHEMICAL I/O BOARD TOB1015 Qty: 1
Board.IO MTR #02
TEL ACT8
MPC-T0048A-11 BOARD.IO MTR #02 TOB1048 Qty: 1
Power Box
TEL ACT Track
MSE181D Qty: 5
MSE181G Qty: 5
MSE343 Qty: 6
AC Power Box
TEL ACT12 Track
PB121-U150-02W-T(SP) AC200/220V 150A 3Phase 50/60Hz Qty: 2
AC サーボドライバー
Panasonic
MSDA011A1A 100-115V / 100W / 2500P/r 数量: 10
水冷却ユニット
Komatsu
MCE-52W-A 6A 50/60Hz 数量: 1
電源ユニット
MR-2015
MR-2015 6A Power ON/OFF 数量: 1
Thermo-Con
SMC
INR-244-230A 200V 50/60Hz 3A 数量: 6
サーボパック
Yaskawa
CACR-IR 020202F B 数量: 8
ACサーボドライバー
NSK / TEL ACT8
在庫あり・出荷可能
NSK ESA-LYA2AFH-20
NSK / ACサーボドライバー / Y軸 / TEL ACT8
| ブランド | NSK |
| 型番 | ESA-LYA2AFH-20 |
| 種類 | ACサーボドライバー |
| 対応軸 | Y軸 |
| 対応機種 | TEL ACT8 |
| 数量 | 8 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
NSK ESA-LYA2AFH-20 ACサーボドライバー。TEL ACT8 コーター/デベロッパーのY軸駆動制御専用。精密な位置制御と高速応答により、ウェーハ搬送の高い繰り返し精度を実現します。
在庫あり・出荷可能
NSK ESA-J1003A23-21
NSK / ACサーボドライバー / Theta軸 / TEL ACT8
| ブランド | NSK |
| 型番 | ESA-J1003A23-21 |
| 種類 | ACサーボドライバー |
| 対応軸 | Theta軸 |
| 対応機種 | TEL ACT8 |
| 数量 | 8 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
NSK ESA-J1003A23-21 ACサーボドライバー。TEL ACT8 コーター/デベロッパーのTheta軸回転駆動制御専用。ウェーハ回転角度の精密な位置決めを確保し、スピンコート均一性の向上に貢献します。
ACサーボドライバー
NSK
在庫あり・即出荷可
NSK ESA-Y3008A25-21
NSK / ACサーボドライバー
| ブランド | NSK |
| 型番 | ESA-Y3008A25-21 |
| タイプ | ACサーボドライバー |
| 制御電源 | AC90-220V |
| 主電源 | AC200-220V |
| ヒューズ | 250V 10A x2 |
| 数量 | 1 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お問い合わせください |
NSK ESA-Y3008A25-21 ACサーボドライバー。制御電源AC90-220V、主電源AC200-220V、RS-232C通信インターフェース搭載。日本製。
インバーター
TEL ACT8
在庫あり・即出荷可
Mitsubishi FR-U120-0.75K-F
三菱電機 / FREQROL-U100 インバーター / TEL ACT8
| ブランド | 三菱電機 |
| 型番 | FR-U120-0.75K-F |
| タイプ | インバーター |
| 出力 | 0.75kW |
| 入力 | 3相 AC200-230V 50/60Hz |
| 出力電流 | 4.1A MAX 3相 AC200-230V / 0.5-120Hz |
| 対応機種 | TEL ACT8 |
| 数量 | 6 |
| 状態 | 中古・PASSED・実機在庫 |
| 価格 | お問い合わせください |
三菱電機 FREQROL-U100 FR-U120-0.75K-F インバーター。TEL ACT8 コーター/デベロッパー用。0.75kW 三相入力。全台PASSEDテスト済み。日本製。
Wee Fiber
TEL ACT8 新品
Wee Fiber 高輝度タイプ 新品
高輝度設計により、TEL ACT8 ウェーハアライメントセンサーの輝度を 20〜30% 向上。アライメント精度と安定性を効果的に改善します。新品のため、そのまま交換取付が可能です。
TEL Clean Track MK パーツ在庫
SMC-C85A PCB Board
TEL MK Track
381-639006-4 SMC-C85A Qty: 1
SSMC-8B PCB Board
TEL MK Track
381-639514-2 SSMC-8B Qty: 1
SBC-SI/016 PCB Board
TEL MK Track
381-639506-4 SBC-SI/016 Qty: 2
tVME-68KSV PCB Board
TEL MK Track
381-639472-4 tVME-68KSV Qty: 2
tVME-UIO/BS-VIF PCB Board
TEL MK Track
1381-645825-11 tVME-UIO/BS-VIF Qty: 1
tVME-UIO/A SS21V-0 PCB Board
TEL MK Track
381-601080-6 tVME-UIO/A SS21V-0 Qty: 1
AC Servo Motor Control Board
TEL MK Track
381-639178-4 MS MPV-0 P Qty: 1
tVME-UIO #2 PCB Board
TEL MK Track
381-640994-2 tVME-UIO #2 Qty: 6