Main Controller
TEL ACT Track
Main Controller Type 2 Qty: 2
Main Controller Type 3 Qty: 2
Main Controller Type 4 Qty: 2
Cooling Plate & Hot Plate
Lithius Pro Z
CPHP Qty: 12
CGHP Qty: 12
CSWP Qty: 15
Cooling Plate & Hot Plate
TEL ACT8
HHP Model-814 Qty: 10
LHP Model-813 Qty: 27
Cooling Plate Model-812 Qty: 20
CHP Model-825 Qty: 1
AD-Unit Model-811 Qty: 3
PRA Base Board
TEL ACT8
2981-600408-12 PRA BASE BOARD Qty: 1
Chemical I/O Board
TEL ACT8
CPC-T0015A-11 CHEMICAL I/O BOARD TOB1015 Qty: 1
Board.IO MTR #02
TEL ACT8
MPC-T0048A-11 BOARD.IO MTR #02 TOB1048 Qty: 1
Power Box
TEL ACT Track
MSE181D Qty: 5
MSE181G Qty: 5
MSE343 Qty: 6
AC Power Box
TEL ACT12 Track
PB121-U150-02W-T(SP) AC200/220V 150A 3Phase 50/60Hz Qty: 2
AC サーボドライバー
Panasonic
MSDA011A1A 100-115V / 100W / 2500P/r 数量: 10
水冷却ユニット
Komatsu
MCE-52W-A 6A 50/60Hz 数量: 1
電源ユニット
MR-2015
MR-2015 6A Power ON/OFF 数量: 1
Thermo-Con
SMC
INR-244-230A 200V 50/60Hz 3A 数量: 6
サーボパック
Yaskawa
CACR-IR 020202F B 数量: 8
ACサーボドライバー
NSK / TEL ACT8
在庫あり・出荷可能
NSK ESA-LYA2AFH-20
| ブランド | NSK |
| 型番 | ESA-LYA2AFH-20 |
| 数量 | 8 |
在庫あり・出荷可能
NSK ESA-J1003A23-21
| ブランド | NSK |
| 型番 | ESA-J1003A23-21 |
| 数量 | 8 |
ACサーボドライバー
NSK
在庫あり・即出荷可
NSK ESA-Y3008A25-21
| ブランド | NSK |
| 型番 | ESA-Y3008A25-21 |
| 数量 | 1 |
インバーター
TEL ACT8
在庫あり・即出荷可
Mitsubishi FR-U120-0.75K-F
| ブランド | 三菱電機 |
| 型番 | FR-U120-0.75K-F |
| 数量 | 6 |
Wee Fiber
TEL ACT8 新品
Wee Fiber 高輝度タイプ 新品
高輝度設計により、TEL ACT8 ウェーハアライメントセンサーの輝度を 20〜30% 向上。アライメント精度と安定性を効果的に改善します。新品のため、そのまま交換取付が可能です。
DC電源
TEL Lithius 300mm
在庫あり・出荷可能
LAMBDA DPS2800
| ブランド | LAMBDA（デンセイ・ラムダ） |
| 型番 | DPS2800 |
| 数量 | 3 |
Main Controller
TEL Lithius 300mm
在庫あり・出荷可能
TEL Lithius Main Controller
| ブランド | TEL（東京エレクトロン） |
| 数量 | 1 |
タッチモニタ
TEL Lithius 300mm
在庫あり・出荷可能
Mitsubishi TSD-T192-M-TEL
| ブランド | 三菱電機エンジニアリング |
| 型番 | TSD-T192-M-TEL |
| 数量 | 1 |
TEL Clean Track MK パーツ在庫
SMC-C85A PCB Board
TEL MK Track
381-639006-4 SMC-C85A Qty: 1
SSMC-8B PCB Board
TEL MK Track
381-639514-2 SSMC-8B Qty: 1
SBC-SI/016 PCB Board
TEL MK Track
381-639506-4 SBC-SI/016 Qty: 2
tVME-68KSV PCB Board
TEL MK Track
381-639472-4 tVME-68KSV Qty: 2
tVME-UIO/BS-VIF PCB Board
TEL MK Track
1381-645825-11 tVME-UIO/BS-VIF Qty: 1
tVME-UIO/A SS21V-0 PCB Board
TEL MK Track
381-601080-6 tVME-UIO/A SS21V-0 Qty: 1
AC Servo Motor Control Board
TEL MK Track
381-639178-4 MS MPV-0 P Qty: 1
tVME-UIO #2 PCB Board
TEL MK Track
381-640994-2 tVME-UIO #2 Qty: 6