CCM リモートコントロールボックス
ASML 中古
X4 CCM Remote Control Box
| ブランド | ASML |
| 品名 | X4 CCM Remote Control Box |
| Mat番号 | 4022.470.08897 |
| BiD | 00000000001177753116 |
| リビジョン | Rev. A / B / C / D / E |
| モジュール | maxon motor mmc MIP |
| インジケーター | BRD / LB / HW / SAF / MSSL / Error / Power / Reset |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 8 |
| 価格 | お問い合わせください |
ASML X4 CCM（クラスターコントロールモジュール）リモートコントロールボックス、Mat番号 4022.470.08897。ASML半導体露光装置（ステッパー/スキャナー）のコアコントロールモジュールです。maxon motor mmc MIP駆動モジュールを内蔵し、完全なステータスインジケーター（BRD、LB、HW、SAF、MSSL、Error、Power、Reset）を装備。ASML装置の修理・交換部品またはスペアパーツとしてご使用いただけます。
ロボットハンド空圧ユニット
Parker / ASML 中古
RH-PU Mk3
| ブランド | Parker（ASML OEMサプライヤー） |
| 品名 | RH-PU Mk3（ロボットハンド空圧ユニット） |
| 12NC | 4022.631.2439_ |
| Mat番号 | 4022.631.24391 |
| BiD | 00000000114653174 |
| リビジョン | Rev. A / B / C / D / E |
| コネクター | X100（D-Sub 25ピン） |
| 電源 | -12V / +12V / +15V / -15V / +24V |
| CDA 気圧 | 5 to 8 barg |
| VAC 真空 | -0.55 TO -0.7 barg |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
Parker RH-PU Mk3（ロボットハンド空圧ユニット）はASML露光装置のウェーハ搬送ロボット用空圧制御ユニットです。グリッパーの空圧駆動と真空吸着を制御し、X100 D-Sub 25ピンコネクターでASMLの制御システムと接続します。CCM0/CCM1制御信号およびTOB GRIP、IRIS、SET SIG機能をサポートするASML装置の重要なスペアパーツです。
TRB 搬送ロボットボード
ASML 中古
TRB（Transfer Robot Board）
| ブランド | ASML |
| 品名 | TRB（Transfer Robot Board） |
| Mat番号 | 4022.636.57283 |
| BiD | 00000000117626650 |
| リビジョン | Rev. A / B / C / D / E |
| モジュール | maxon motor 駆動モジュール |
| インジケーター | Error / Power / Reset |
| コネクター | X1~X20（D-Sub、円形、電源コネクター） |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 6 |
| 価格 | お問い合わせください |
ASML TRB（Transfer Robot Board）はASML露光装置のウェーハ搬送ロボット制御モジュールで、Mat番号 4022.636.57283。maxon motor駆動モジュールを内蔵し、X1〜X20の20種類の多規格コネクター（D-Sub 9/25ピン、mil-spec円形コネクター、電源コネクター）を備え、ウェーハ搬送ロボットの多軸モーション制御と信号インターフェースを担います。ASML装置のメンテナンスに不可欠なコアスペアパーツです。
レーザー電源供給モジュール
Qioptiq / ASML 中古
YS EL LPSU MOD ASSY MK4
| ブランド | Qioptiq Photonics GmbH（ASMLサプライヤー） |
| 品名 | YS EL LPSU MOD ASSY MK4 |
| タイプ | 4022.671.0686.1 / 61 2439 001 |
| Mat番号 | 4022.671.26961 |
| シリアル番号 | 00027 |
| 定格電力 | 2240VA |
| 定格周波数 | 48-52 / 58-62 Hz |
| 入力電圧 | 230V~ / +10% -15% |
| 出力電圧 | 48V DC |
| PSUモジュール | 2× HFE1600-48/S |
| 保護クラス | Class I |
| 認証 | CE |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
Qioptiq PhotonicsがASML向けに製造したYS EL LPSU MOD ASSY MK4（レーザー電源供給ユニットモジュールアセンブリ MK4）、タイプ 4022.671.0686.1。ASML露光装置のエキシマレーザー電源供給システム用で、2基のHFE1600-48/S電源モジュールを搭載し、定格2240VA・出力48V DCを供給します。ドイツ製・CE認証取得済み。ASMLレーザー照明システムに不可欠な電源コンポーネントです。
空圧バルブアセンブリ
KV Ltd / ASML 中古
空圧バルブアセンブリ
| ブランド | KV Ltd Milton Keynes（ASMLサプライヤー） |
| Mat番号 | 4022.480.62681 |
| シリアル番号 | 022706 |
| 電磁弁型式 | 01-311P-01-H0（F01042） |
| 電磁弁仕様 | 24V / 1W |
| 最大圧力 | P Max 8 bar |
| 動作温度 | -10°C ~ +60°C |
| 製造年 | 2002年 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
KV Ltd（英国）がASML向けに製造した空圧バルブアセンブリ、Mat番号 4022.480.62681。複数の24V/1W電磁弁（01-311P-01-H0）と一体型PCB制御回路を備え、最大8 bar、動作温度 -10°C～+60°Cに対応します。ASML露光装置のウェーハ搬送システムの空圧回路における重要な切換部品です。
冷却水メイン電源コントローラー
Thermo Electron / ASML 中古
LCWC Main Power Controller
| 品名 | LCWC（レーザー冷却水コントローラー） |
| 製造元 | Thermo Electron (Karlsruhe) GmbH |
| タイプ | 009-0033 |
| 部品番号（Mat） | 4022.637.13581 |
| 入力電源 | 3×400V/N/PE、50-60Hz、3×13A |
| サーキットブレーカー | F1-F7（ABB）：HEAT / UVLMP / PUMP / AC PS / DC PS |
| インターフェース | X101 RS-232、X102-X105 BNC 温度センサー |
| DC出力 | 24Vdc / 5Vdc |
| ディスプレイ | LCDパネル（LCW FLOW / 手動充填制御） |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
Thermo Electron（ドイツ・カールスルーエ）製のLCWC（レーザー冷却水コントローラー）メイン電源コントローラー、タイプ009-0033。ASML露光装置のレーザー冷却水循環システム用で、7基のABBサーキットブレーカー（F1〜F7：HEAT、UVLMP、PUMP、AC/DC PS制御）、RS-232ポート、4基のBNC温度センサー入力、LCDディスプレイとLCW FLOWコントロール、主電源3×400V/13Aを備えたASMLレーザー冷却システムのコア制御装置です。
ホストコンピューターワークステーション
Sun Microsystems / ASML 中古
Sun Ultra 25 Workstation
| ブランド | Sun Microsystems |
| モデル | Ultra 25（ワークステーション） |
| Mat番号 | 9428.999.78330 |
| BiD | 00000000000006668 |
| リビジョン | Rev. B / C / D / E |
| 用途 | ASML露光装置ホストコンピューター |
| OS | Solaris（Sun SPARCアーキテクチャ） |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 1 |
| 価格 | お問い合わせください |
Sun Microsystems Ultra 25 高性能SPARCワークステーション、Mat 9428.999.78330。ASML半導体露光装置（ステッパー/スキャナー）の標準ホストコンピューターとして使用されます。SolarisオペレーティングシステムでASML装置制御ソフトウェアを実行し、露光装置運用のコア計算プラットフォームとなります。ASML装置の修理・アップグレードまたはホストコンピューター交換に最適なスペアパーツです。
ホストコンピューターワークステーション
Sun Microsystems / ASML 中古
Sun SunBlade 2500 Workstation
| ブランド | Sun Microsystems |
| モデル | SunBlade 2500（ワークステーション） |
| アーキテクチャ | UltraSPARC IIIi |
| OS | Solaris（Sun SPARCアーキテクチャ） |
| 用途 | ASML露光装置ホストコンピューター |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 1 |
| 価格 | お問い合わせください |
Sun Microsystems SunBlade 2500 高性能UltraSPARC IIIiワークステーション。ASML半導体露光装置（ステッパー/スキャナー）のホストコンピューターとして使用されます。SolarisオペレーティングシステムでASML装置制御ソフトウェアを実行し、露光装置運用のコア計算プラットフォームとなります。ASML装置の修理・アップグレードまたはホストコンピューター交換に適しています。