ロボットコントローラー
Brooks-PRI Automation 中古
002-9401-01
| ブランド | Brooks-PRI Automation |
| 型番 | 002-9401-01 |
| タイプ | Series 8 Robot Controller |
| 電源入力 | 100-240 VAC / 50-60 Hz / 8A |
| 通信インターフェース | DeviceNet / SIO-1 / SIO-2 / CDM |
| 制御出力 | Robot Control / Traverser Control |
| 原産国 | 米国製（Made in USA） |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
Brooks-PRI Automation Series 8 は業界標準のロボットコントローラーで、DeviceNetネットワーク通信をサポートし、ロボットとトラバーサー軸を同時制御できます。全Brooks系列ウェハ搬送ロボットに対応した半導体自動化システムのコア制御モジュールです。
ウェハ搬送ロボット
Brooks-PRI Automation 中古
017-0950-01
| ブランド | Brooks-PRI Automation |
| 型番 | 017-0950-01 |
| シリアルNo. | 0210-10108 |
| 電圧 / 電流 | 24VDC / 20A |
| 原産国 | 米国製（Made in USA） |
| 用途 | 半導体ウェハ搬送 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 1 |
| 価格 | お問い合わせください |
Brooks-PRI Automationは半導体自動化装置の世界的メーカーです。017-0950-01はデュアルアクシスエンコーダを搭載した大気環境ウェハ搬送ロボットで、半導体ウェハファブ自動化システムに広く使用されています。
Theta ロボット
Nikon 中古
Theta Robot
| ブランド | Nikon Corporation |
| タイプ | Theta 関節式ロボット |
| 原産国 | 日本製（Made in Japan） |
| 用途 | 半導体露光機ウェハ搬送 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 1 |
| 価格 | お問い合わせください |
Nikon純正Theta関節式ロボット。Nikonシリーズ半導体露光機（ステッパー/スキャナー）のウェハ搬送に対応。デュアルリンクSCARA構造で高精度を実現し、露光装置の重要な搬送モジュールです。
精密アライメントモジュール
Canon 中古
BY7-3355-000
| ブランド | Canon Inc. |
| 部品番号 | BY7-3355-000 |
| 原産国 | 日本製（Made in Japan） |
| 用途 | Canon露光機用精密アライメントモジュール |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
Canon純正精密アライメントモジュール。Canonシリーズ半導体露光機（ステッパー/スキャナー）に対応。レーザーアライメントシステム、ロータリーステージおよびドライブモーターを内蔵した露光装置の重要コンポーネントで、交換スペアに最適です。
精密減速機・ロボット関節部品
Nabtesco 中古
2L80-000155-11
| ブランド | Nabtesco Corporation |
| 型番 | 2L80-000155-11 |
| シリアルNo. | B722 |
| 原産国 | 日本製（Made in Japan） |
| 用途 | ロボット関節精密減速機 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 1 |
| 価格 | お問い合わせください |
Nabtescoは精密減速機の世界的メーカーで、半導体ロボットの関節駆動に広く使用されています。2L80シリーズは日本製造で高精度・長寿命を誇り、交換部品や予備在庫として最適です。
ウェハ搬送ロボット
ASYST JAPAN 中古
UTX-F5500C-006B
| ブランド | ASYST JAPAN INC. |
| 型番 | UTX-F5500C-006B |
| シリアルNo. | A4Z122901-1 |
| コントローラー | CS-7100 |
| 原産国 | 日本製（Made in Japan） |
| 用途 | 半導体ウェハ搬送（FOUP / SMIF） |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お問い合わせください |
ASYST Japan UTXシリーズは、半導体ウェハファブで広く使用されている標準的な自動化ロボットです。FOUP・SMIFハンドリングに対応し、日本製造による安定した性能を誇ります。スペアまたは生産用途に最適です。
ウェハ搬送マニピュレーター
Yaskawa Electric 中古
XU-RVM4110
| ブランド | Yaskawa Electric Japan |
| 型番 | XU-RVM4110 |
| シリアル番号 | S92505-1-01 |
| 種類 | マニピュレーター（ウェハ搬送ロボット） |
| 重量 | 55 kg |
| 製造年月 | 2010年3月 |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 数量 | 2 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
Yaskawa Electric XU-RVM4110 は TEL CVD Trias EX-II 専用ウェハ搬送マニピュレーターで、プロセスチャンバー間の精密なウェハ搬送・位置決めを担います。重量 55kg、堅牢な構造と高精度動作により CVD 自動搬送システムの中核として安定した性能を発揮。中古・実機在庫、そのまま交換設置可能です。