EX-II
機種型番
MKS 631D-32705
| ブランド | MKS Instruments |
| 型番 | 631D-32705 |
| 種類 | 加熱式静電容量マノメーター |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 6 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
MKS Instruments 631D シリーズ加熱式静電容量マノメーター。TEL CVD Trias EX-II プロセスチャンバーの高精度圧力計測に使用。加熱設計により腐食性ガスの凝縮を防止し、計測精度と長期安定性を確保します。CVD プロセス圧力制御の重要部品です。
VEXTA PK566AEM
| ブランド | VEXTA（Oriental Motor） |
| 型番 | PK566AEM |
| 種類 | 5相ステッピングモーター |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 4 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
VEXTA（Oriental Motor）PK566AEM 5相ステッピングモーター。精密なステップ制御設計により、ステップ角誤差を最小化。TEL CVD Trias EX-II のガス流量バルブや精密機構の駆動に適しており、安定した動作を実現します。
Panasonic MSMD082S1T
| ブランド | Panasonic |
| 型番 | MSMD082S1T |
| 種類 | ACサーボモーター |
| 定格出力 | 0.75 kW |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 6 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
Panasonic MINAS シリーズ ACサーボモーター、定格出力 0.75kW。高性能・高精度なドライブ制御で、応答速度が速く位置決め精度に優れています。TEL CVD Trias EX-II の各軸駆動システムに広く使用されています。
HORIBA STEC SEC-8455F
| ブランド | HORIBA STEC |
| 型番 | SEC-8455F |
| 種類 | デジタルマスフローコントローラー |
| プロセスガス | TiCl4（四塩化チタン） |
| 流量レンジ | 300 SCCM |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 4 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
HORIBA STEC SEC-8455F デジタルマスフローコントローラー。TiCl4（四塩化チタン）プロセス専用設計で、レンジは 300SCCM。CVD プロセスガス流量を精密に制御し、TEL CVD Trias EX-II の TiN 薄膜成膜プロセスに不可欠なコンポーネントです。
RKC RCB-28-6F
| ブランド | RKC Instrument |
| 型番 | RCB-28-6F |
| 種類 | マルチゾーン温度コントローラー |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 9 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
RKC Instrument RCB-28-6F マルチゾーン温度コントローラー。TEL CVD Trias EX-II の各加熱ゾーン温度を精密に管理し、プロセスチャンバーとガスラインの温度を安定・均一に保ちます。CVD 薄膜品質の一貫性を確保するための核心部品です。
TEL S-BRK-EX-II
| ブランド | Tokyo Electron（TEL） |
| 型番 | S-BRK-EX-II |
| 部品番号 | 3M80-004605-11 |
| 種類 | サブブレーカーボックス |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 3 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
TEL 純正 EX-II 専用サブブレーカーボックス（部品番号：3M80-004605-11）。TEL CVD Trias EX-II の電源配電システムの中核保護部品で、各サブシステムの電源安全と過負荷保護を確保します。純正仕様による直接交換が可能です。
HORIBA STEC SEC-N112MGM
| ブランド | HORIBA STEC |
| 型番 | SEC-N112MGM |
| 種類 | N100 シリーズマスフローコントローラー |
| プロセスガス | N2（窒素） |
| 流量・数量 | 300 SCCM × 20台 3 SLM × 20台 5.5 SLM × 20台 10 SLM × 20台 |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
HORIBA STEC SEC-N112MGM は N100 シリーズ高精度窒素マスフローコントローラー。300SCCM・3SLM・5.5SLM・10SLM の 4 種類の流量レンジを各 20 台在庫しています。TEL CVD Trias EX-II の窒素パージ・希釈・不活性ガスプロセス制御に使用。即時出荷対応可能です。
Yaskawa XU-RVM4110
| ブランド | Yaskawa Electric Japan |
| 型番 | XU-RVM4110 |
| 種類 | マニピュレーター（ウェハ搬送ロボット） |
| 重量 | 55 kg |
| 製造年月 | 2010年3月 |
| 対応機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 2 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お見積もり歓迎 |
Yaskawa Electric XU-RVM4110 は TEL CVD Trias EX-II 専用のウェハ搬送マニピュレーターで、プロセスチャンバー間の精密なウェハ搬送と位置決めを担います。重量 55kg、堅牢な構造と高精度な動作制御により、CVD 自動搬送システムの中核部品として安定した性能を発揮します。中古・実機在庫、そのまま交換設置可能です。
Fujikin Heated Source Box
| ブランド | Fujikin Inc. |
| S/N | ADG294 |
| タイプ | 加熱式ケミカルソースボックス |
| ポート | PURGE / OUTLET / SOURCE |
| 機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 2 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お問い合わせください |
Fujikin 加熱式ケミカルソースボックス。PURGE・OUTLET・SOURCE の三方向ポートを備え、加熱制御により前駆体温度を維持し、CVD プロセスの安定した気化を実現します。TEL CVD Trias EX-II の前駆体供給システムに対応。
Gate Valve LL1 GV
| 型番 | BX80-070159-15 |
| S/N | V083230 |
| タイプ | 空圧式ゲートバルブ（ロードロック用） |
| 駆動方式 | 空圧式（Pneumatic） |
| 機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 6 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お問い合わせください |
空圧駆動ゲートバルブ（型番 BX80-070159-15）。TEL CVD Trias EX-II のロードロックチャンバー隔離用。OPEN/CLOSE 空圧ポートを備え、信頼性の高い真空隔離と高速動作を実現する CVD プロセスの重要部品。
TEL PWRCONT-2Z-A1
| ブランド | Tokyo Electron Ltd. |
| 型番 | PWRCONT-2Z-A1 |
| 品番 | 3M87-060702-41 |
| S/N | 1803594 |
| 重量 | 16 Kg |
| 機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 5 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お問い合わせください |
Tokyo Electron 純正パワーコントローラー PWRCONT-2Z-A1。SYSTEM IF1/IF2・INTERLOCK・GHOST LOCAL/MAIN ネットワークインターフェースと多チャンネル出力を搭載。TEL CVD Trias EX-II 加熱システムの電源管理と温度制御に使用。重量 16kg、純正仕様の中古実機。
TEL PCB ASSY.GUC 1
| ブランド | Tokyo Electron Ltd. |
| 型番 | PCB ASSY.GUC 1 |
| 品番 | 3M80-003985-13 |
| S/N | 46X0002 |
| 機種 | TEL CVD Trias EX-II |
| 数量 | 5 |
| 状態 | 中古・実機在庫 |
| 価格 | お問い合わせください |
Tokyo Electron 純正 PCB ASSY.GUC 1 コントロール基板、品番 3M80-003985-13。TEL CVD Trias EX-II システムのコア制御基板で、複数の制御ループを統合。純正仕様の中古実機、そのまま交換設置可能。
Grand Precise を選ぶ理由
半導体装置修理 20〜30 年の経験。TEL CVD シリーズの専門サプライヤー。
品質保証
すべての部品は機能テストを実施し、OEM 仕様に適合していることを確認しています。
迅速な対応
お問い合わせから 24 時間以内に返答いたします。緊急のご要望は優先対応いたします。
台湾現地在庫
台湾の倉庫から直接出荷。実在庫のある部品のみ見積もりし、迅速な発送を実現します。
専門技術サポート
ベテランエンジニアチームが TEL CVD 装置の修理相談・技術サポートを提供します。